Electrode metallization for high permittivity oxide RF thin film capacitors
Publiceringsår
2007
Upphovspersoner
Riekkinen, Tommi; Molarius, Jyrki; Ylilammi, Markku
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Ylilammi Markku
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
27
Nummer
8-9
Sidor
2983-2987
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
Capacitors; Diffusion; Diffusion barriers; Electrodes; FILMS; Oxidation; oxidation resistance; SURFACES
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1016/j.jeurceramsoc.2006.11.060
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej