The use of automatic demolding in nanoimprint lithography processes

Publiceringsår

2007

Upphovspersoner

Merino, S.; Schift, H.; Retolaza, A.; Haatainen, Tomi

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Haatainen Tomi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Microelectronic Engineering

Volym

Nummer

5-8

Sidor

958-962

ISSN

0167-9317

Publikationsforum

63335

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ingen information

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.mee.2007.01.023