G-band distributed microelectromechanical components based on CMOS compatible fabrication
Publiceringsår
2008
Upphovspersoner
Vähä-Heikkilä, Tauno; Ylönen, Mari
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Vähä-Heikkilä Tauno
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
56
Nummer
3
Sidor
720 - 728
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
3
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1109/TMTT.2008.916885
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej