Deep plasma etching of glass with a silicon shadow mask

Publiceringsår

2008

Upphovspersoner

Kolari, Kai

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Kolari Kai

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Sensors and Actuators A: Physical

Volym

141

Nummer

Sidor

677-684

ISSN

0924-4247

Publikationsforum

67021

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.sna.2007.09.005

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej