3D processing on 6 in. high resistive SOI wafers: Fabrication of edgeless strip and pixel detectors

Publiceringsår

2009

Upphovspersoner

Eränen, Simo; Kalliopuska, Juha; Orava, Risto; van Remortel, Nick; Virolainen, Tuula

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Kalliopuska Juha

Eränen Simo

Virolainen Tuula

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment

Volym

607

Nummer

Sidor

85-88

ISSN

0168-9002

Publikationsforum

64244

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.nima.2009.03.243

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej