Gettering in SOI wafers: experimental studies and modeling

Publiceringsår

2005

Upphovspersoner

Istratov, Andrei; Väinölä, Hele; Huber, Walter; Weber, Eicke

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Väinölä Hele

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Semiconductor Science and Technology

Förläggare

Institute of Physics Publishing

Volym

Nummer

Sidor

568-575

ISSN

0268-1242

Publikationsforum

66971

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej