Lattice impurity-related stress in micromechanical silicon devices

Publiceringsår

2013

Upphovspersoner

Sievilä, Päivi; Tittonen, Ilkka

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Tittonen Ilkka

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Inte kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

47th annual conference of the Finnish Physical Society (Physics Days 2013), Espoo, Finland, March 14-16, 2013

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Kemi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi; Medicinsk bioteknologi

Förlagets internationalitet

Inhemsk

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej