Atomic layer deposition of tungsten carbonitride thin films from a new metalorganic precursor

Publiceringsår

2005

Upphovspersoner

Dezelah, Charles L.; El-Kadri, Osama M.; Heeg, Mary Jane; Niinistö, Lauri; Winter, Charles H.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Proceedings of the Electrochemical Society

Volym

2005-09

Sidor

563-574

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej