Synchrotron X-ray topographic studies of strain in silicon wafers with integrated circuits.
Publiceringsår
1995
Upphovspersoner
Tuomi, T.; Karilahti, M.; Äyräs, P.; Lipsanen, H.; McNally, P.
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Lipsanen Harri 
Publikationstyp
Publikationsform
Separat verk
Målgrupp
Facklig
UKM:s publikationstyp
D4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller -utredning
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja