Ultrahigh Vacuum Plasma Oxidation in the Fabrication of Ultrathin Silicon Dioxide Films
Publiceringsår
2000
Upphovspersoner
Majamaa, Tero
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Separat verk
Målgrupp
Facklig
UKM:s publikationstyp
D4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller -utredning
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Förlagets internationalitet
Inhemsk
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja