White beam synchrotron x-ray topography studies of copper interconnect inducec strain in Si ic processing

Publiceringsår

2002

Upphovspersoner

Kanatharana, J.; McNally, P.J.; Tuomi, T.; Toh, B.H.W.; McNeill, D.; Chen, W.M.; Riikonen, J.; Knuuttila, L.; Pérez-Camacho, J.J.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Separat verk

Målgrupp

Facklig

UKM:s publikationstyp

D4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller -utredning

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej