An atomistic introduction to anisotropic etching

Publiceringsår

2007

Upphovspersoner

Gosálvez, M.A.; Sato, Kazuo; Foster, A S; Nieminen, R M; Tanaka, H.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Foster Adam

Nieminen Risto

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Journal of Micromechanics and Microengineering

Förläggare

Institute of Physics Publishing

Volym

Nummer

Sidor

S1-S26

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

DOI

10.1088/0960-1317/17/4/S01