Silicon surface passivation with atomic layer deposited aluminum nitride

Publiceringsår

2016

Upphovspersoner

Repo, Päivikki; Bao, Yameng; Seppänen, Heli; Sippola, Perttu; Savin, Hele

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Savin Hele

Seppänen Heli

Sippola Perttu

Repo Päivikki

Bao Yameng

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Artikelnummer

7750205

Sidor

2967-2970

ISBN

978-1-5090-2724-8

Publikationsforum

54011

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1109/PVSC.2016.7750205