Gas Damping in Vibrating MEMS Structures

Publiceringsår

2010

Upphovspersoner

Veijola, Timo

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Samlingsverk

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Facklig

UKM:s publikationstyp

D2 Artikel i ett yrkesinriktat samlingsverk (inkl. inledningsartikel som skrivits av redaktören)

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

Förläggare

Elsevier

Sidor

259-279

ISBN

978-0-8155-1594-4

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Rymdvetenskap och astronomi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi; Geovetenskaper

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej