Precursors for ALD Processes
Publiceringsår
2011
Upphovspersoner
Putkonen, Matti; Knez, Mato; Pinna, N.
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Samlingsverk
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A3 Del av bok eller annat samlingsverkPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Sidor
41-69
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Kemi
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja