Effect of oxygen on the reactions in the Si/Ta/Cu metallization system

Publiceringsår

2001

Upphovspersoner

Laurila, Tomi; Zeng, Kejun; Kivilahti, Jorma K.; Molarius, Jyriki; Suni, Ilkka

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Kivilahti Jorma K.

Zeng Kejun

Laurila Tomi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Journal of Materials Research

Förläggare

SPRINGER

Volym

Nummer

Sidor

2939-2946

ISSN

0884-2914

Publikationsforum

60947

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1557/JMR.2001.0404