Metallic Alloy Seal Bonding

Publiceringsår

2015

Upphovspersoner

Reinert, Wolfgang; Kulkarni, Amit; Vuorinen, Vesa; Merz, Peter

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Vuorinen Vesa

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Samlingsverk

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A3 Del av bok eller annat samlingsverk

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Second Edition

Förläggare

Elsevier

Sidor

626-639

ISBN

978-0-323-29965-7

Publikationsforum

5318

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Teknisk kemi, kemisk processteknik; Materialteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

DOI

10.1016/B978-0-323-29965-7.00032-4