Conformality of remote plasma enhanced ALD processes: an experimental study

Publiceringsår

2011

Upphovspersoner

Kariniemi, Maarit; Niinistö, J.; Putkonen, Matti; Vehkamäki, M.; Kemell, M.; Ritala, M.; Leskelä, M.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Inte kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

ALD2011, Cambridge, MA, Usa, June 26-29, 2011

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Kemi

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej