Low-temperature ALE deposition of Y_(2)O_3 thin films from beta-diketonate precursors
Publiceringsår
2001
Upphovspersoner
Putkonen, Matti; Sajavaara, Timo; Johansson, Leena-Sisko; Niinistö, Lauri
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal
Chemical Vapor Deposition
Förläggare
Wiley
Volym
7
Nummer
1
Sidor
44-50
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja