Pushing the limits of plasma ALD conformality
Publiceringsår
2011
Upphovspersoner
Putkonen, Matti; Kariniemi, Maarit; Niinistö, J.; Vehkamäki, M.; Kemell, M.; Ritala, M.; Leskelä, M.; Karwacki, E.J.; Buchanan, I.
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Separat verk
Målgrupp
Facklig
UKM:s publikationstyp
D4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller -utredning
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Kemi
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja