Introduction to Encapsulation and Integration of MEMS

Publiceringsår

2015

Upphovspersoner

Kuisma, Heikki; Paulasto-Kröckel, Mervi

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Paulasto-Kröckel Mervi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Samlingsverk

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A3 Del av bok eller annat samlingsverk

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Second Edition

Förläggare

Elsevier

Sidor

585-590

ISBN

978-0-323-29965-7

Publikationsforum

5318

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

DOI

10.1016/B978-0-323-29965-7.00028-2