Processing of Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films by Atomic Layer Deposition from Cyclopentadienyl-type Compounds and Water as Precursors

Publiceringsår

2004

Upphovspersoner

Niinistö, Jaakko; Putkonen, Matti; Niinistö, Lauri

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Chemistry of Materials

Förläggare

AMERICAN CHEMICAL SOCIETY

Volym

Sidor

2953-2958

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Inhemsk

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej