Overview of early publications on Atomic Layer Deposition
Publiceringsår
2014
Upphovspersoner
Aarik, Jaan; Akbashev, Andrew R.; Cameron, David; Elam, Jeffrey; Elliott, Simon; Gottardi, Gloria; Grigoras, Kestutis; Koshtyal, Yury; Kääriäinen, Marja-Leena; Kääriäinen, Tommi; Malkov, Anatoly; Malygin, Anatoly; Molarius, Jyrki; Nikkola, Juha; Pedersen, Henrik; Puurunen, Riikka L.; Ras, Robin H. A.; Roozeboom, Fred; Savin, Hele; Seidel, Thomas E.
Visa merOrganisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
14th International Conference on Atomic Layer Deposition, Kyoto, Japan, June 15-18, 2014
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi; Medicinsk bioteknologi
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja