Atomic layer deposition enhanced rapid dry fabrication of micromechanical devices with cryogenic deep raective ion etching

Publiceringsår

2007

Upphovspersoner

Chekurov, Nikolai; Koskenvuori, Mika; Airaksinen, Veli-Matti; Tittonen, Ilkka

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Tittonen Ilkka

Koskenvuori Mika

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Journal of Micromechanics and Microengineering

Förläggare

Institute of Physics Publishing

Volym

Nummer

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej