Rapid thermal annealing of Cu/WNx/Si structures

Publiceringsår

2003

Upphovspersoner

Lipsanen, Antti; Kuivalainen, Pekka; Rauhala, Eero; Franssila, Sami; Seppälä, Anu

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Kuivalainen Pekka

Franssila Sami

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Journal of Materials Science: Materials in Electronics

Förläggare

SPRINGER

Volym

Sidor

315-318

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Inhemsk

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej