Pattern shape effects and artefacts in deep silicon etching
Publiceringsår
1999
Upphovspersoner
Kiihamäki, J.; Franssila, Sami
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Franssila Sami 
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Förläggare
Volym
A17
Nummer
4
Sidor
2280-2285
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1116/1.581761
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja