Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

Publiceringsår

2015

Upphovspersoner

Tittonen, Ilkka; Koskenvuori, Mika

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Tittonen Ilkka

Koskenvuori Mika

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Samlingsverk

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A3 Del av bok eller annat samlingsverk

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies Micro and Nano Technologies

Förläggare

Elsevier

Sidor

294-312

ISBN

978-0-323-29965-7

Publikationsforum

5318

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Materialteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/B978-0-323-29965-7.00010-5