ZrO<sub>2</sub> and HfO<sub>2</sub> Thin Films from Cyclopentadienyl Precursors by Atomic Layer Deposition

Publiceringsår

2003

Upphovspersoner

Niinistö, Jaakko; Putkonen, Matti; Niinistö, Lauri

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

AVS International Topical Conference, Atomic Layer Deposition: ALD 2003, San Jose, CA, USA 2 August 2003

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej