Reduction of molybdenum resistivity by a seed layer of Ti-W

Publiceringsår

1997

Upphovspersoner

Franssila, Sami; Kattelus, H.; Nykänen, E.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Franssila Sami

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Microelectronic Engineering

Förläggare

Elsevier

Volym

37/38

Sidor

373-380

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej