Mechanical Properties of Silicon Microstructures

Publiceringsår

2010

Upphovspersoner

Ganchenkova, Maria; Nieminen, Risto M.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Nieminen Risto

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Samlingsverk

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A3 Del av bok eller annat samlingsverk

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

Förläggare

Elsevier

Sidor

179-219

ISBN

978-0-8155-1594-4

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Maskin- och produktionsteknik; Miljöteknik; Nanoteknologi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Inhemsk

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/B978-0-8155-1594-4.00011-5