Compressible squeeze-films in vibrating MEMS structures at high frequencies

Publiceringsår

2009

Upphovspersoner

Veijola, Timo

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Design, Test, Integration and Packaging of MESMS/MOEMS, Rome, Italy, 1-3 April, 2009

Sidor

235-238

ISBN

978-2-35500-009-6

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Rymdvetenskap och astronomi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi; Geovetenskaper

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej