Rapid thermal annealing of Si1-xGex layers formed by germanium ion implantation
Publiceringsår
1994
Upphovspersoner
Xia, Z.; Saarilahti, Jaakko; Ronkainen, H.; Eränen, S.; Suni, I.; Molarius, J.; Kuivalainen, P.; Ristolainen, E.; Tuomi, T.
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Kuivalainen Pekka
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Förläggare
Volym
88
Sidor
247-254
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Nyckelord
[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1016/0168-583X(94)95320-1
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja