Numerical and Compact Modelling of Squeeze-film Damping in RF MEMS Resonator
Publiceringsår
2008
Upphovspersoner
Veijola, Timo; Lehtovuori, Anu
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Lehtovuori Anu 
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Nice, France, 9-11 April 2008
Förläggare
EDA Publishing Association
Sidor
222-228
ISBN
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Rymdvetenskap och astronomi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi; Geovetenskaper
Nyckelord
[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja