Capacitive Microphone with Low-stress Polysilicon Membrane and High-stress Polysilicon Backplate

Publiceringsår

1999

Upphovspersoner

Sipola, Hannu; Seppä, Heikki; Saarilahti, J.; Rusanen, Outi; Hietanen, Jarmo

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Eurosensors 13., The Hague, 12. - 15.9.1999

Förläggare

Delft University of Technology

Sidor

57-60

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej