Wafer-level transfer technologies for PZT-based RF MEMS switches

Publiceringsår

2010

Upphovspersoner

Guerre, R.; Drechsler, U.; Bhattacharyya, D.; Rantakari, Pekka; Stutz, R.; Wright, R.V.; Milosavljevic, Z.D.; Vähä-Heikkilä, Tauno; Kirby, P.B.; Despont, M.

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Rantakari Pekka

Vähä-Heikkilä Tauno

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Journal of Microelectromechanical Systems

Volym

Nummer

Sidor

548-560

ISSN

1057-7157

Publikationsforum

61025

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1109/JMEMS.2010.2047005

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Nej