Measurement strategies and uncertainty estimations for pitch and step height calibrations by metrological atomic force microscope
Publiceringsår
2012
Upphovspersoner
Korpelainen, Virpi; Seppä, Jeremias; Lassila, Antti
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
11
Nummer
1
Artikelnummer
011002
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik
Nyckelord
[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1117/1.JMM.11.1.011002
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja