< Tillbaka till sökresultaten

Scatterometry analysis of sequentially imprinted patterns: Influence of thermal parameters

Publiceringsår

2012

Upphovspersoner

Gourgon, C.; Ferchichi, A.K.; Pietroy, D.; Haatainen, Tomi; Tesseire, J.

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Haatainen Tomi

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Microelectronic Engineering

Konferens

37th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, MNE 2011

Volym

98

Sidor

270-274

ISSN

Publikationsforum

Publikationsforumsnivå

1

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Ja

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.mee.2012.05.048

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Ja