Scatterometer for characterization of diffractive optical elements
Publiceringsår
2014
Upphovspersoner
Husu, Hannu; Saastamoinen, T.; Laukkanen, J.; Siitonen, S.; Turunen, J.; Lassila, Antti
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Volym
25
Nummer
4
Artikelnummer
044019
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1088/0957-0233/25/4/044019
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja