Atomic layer deposition of lanthanum oxide with heteroleptic cyclopentadienyl-amidinate lanthanum precursor - Effect of the oxygen source on the film growth and properties

Publiceringsår

2018

Upphovspersoner

Seppälä, Sanni; Niinistö, Jaakko; Mattinen, Miika; Mizohata, Kenichiro; Räisänen, Jyrki; Noh, Wontae; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Niinistö Jaakko

Räisänen Jyrki

Mizohata Kenichiro

Leskelä Markku

Mattinen Miika

Ritala Mikko

Seppälä Sanni

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Thin Solid Films

Moderpublikationens namn

Thin Solid Films

Volym

660

Sidor

199-206

ISSN

0040-6090

Publikationsforum

68419

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Öppen tillgång till publikationskanalen

Delvis öppen publikationskanal

Licens för förläggarens version

CC BY

Parallellsparad

Parallellagringens licens

CC BY

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Kemi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Publiceringsland

Nederländerna

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.tsf.2018.06.011