High-Definition Nanoimprint Stamp Fabrication by Atomic Layer Etching
Publiceringsår
2018
Upphovspersoner
Khan, Sabbir A.; Suyatin, Dmitry B.; Sundqvist, Jonas; Graczyk, Mariusz ; Junige, Marcel; Kauppinen, Christoffer; Kvennefors, Anders; Huffman, Maria; Maximov, Ivan
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Kauppinen Christoffer 
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Förläggare
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Materialteknik; Nanoteknologi
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Identifierade tema
[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1021/acsanm.8b00509
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja