Atomic Layer Deposition of Zirconium Dioxide from Zirconium Tetraiodide and Ozone
Publiceringsår
2018
Upphovspersoner
Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Mizohata, Kenichiro; Vehkamäki, Marko; Kalam, Kristjan; Castan, Helena; Duenas, Salvador; Link, Joosep; Stern, Raivo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisationer och upphovspersoner
Helsingfors universitet
Kukli Kaupo
Mizohata Kenichiro
Kemell Marianna
Leskelä Markku
Vehkamäki Marko
Ritala Mikko
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Volym
7
Nummer
2
Sidor
P1-P8
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
0
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Öppen tillgång till publikationskanalen
Delvis öppen publikationskanal
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi
Publiceringsland
Förenta staterna (USA)
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1149/2.0041802jss
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja