Metal oxide multilayer hard mask system for 3D nanofabrication

Publiceringsår

2018

Upphovspersoner

Han, Zhongmei; Vehkamäki, Marko ; Salmi, Emma; Leskelä, Markku ; Ritala, Mikko

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Leskelä Markku

Vehkamäki Marko

Ritala Mikko

Han Zhongmei

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Nanotechnology

Moderpublikationens namn

Nanotechnology

Volym

Nummer

Artikelnummer

055301

ISSN

0957-4484

Publikationsforum

63717

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Kemi; Nanoteknologi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Publiceringsland

Förenade kungariket

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

DOI

10.1088/1361-6528/aa9fe0