Traceable Mueller polarimetry and scatterometry for shape reconstruction of grating structures
Publiceringsår
2017
Upphovspersoner
Hansen Poul-Erik, Madsen Morten H, Lehtolahti Joonas, Nielsen Lars
Organisationer och upphovspersoner
Östra Finlands universitet
Lehtolahti Joonas
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Volym
421
Nummer
Part B
Artikelnummer
10.1016/j.apsusc.2017.02.091
Sidor
471-479
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik
Förlagets internationalitet
Internationell
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1016/j.apsusc.2017.02.091
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja