Subsurface damage in polishing-annealing processed ZnO substrates

Publiceringsår

2017

Upphovspersoner

Prozheeva, V.; Johansen, K. M.; Neuvonen, P. T.; Zubiaga, A.; Vines, L.; Kuznetzov, A. Yu; Tuomisto, F.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Tuomisto Filip

Prozheeva Vera

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal/Serie

Materials Science in Semiconductor Processing

Förläggare

Elsevier

Volym

Sidor

19-22

ISSN

1369-8001

Publikationsforum

62998

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Maskin- och produktionsteknik

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.mssp.2017.02.021