Atomic Layer Deposited Hybrid Organic-Inorganic Aluminates as Potential Low-k Dielectric Materials

Publiceringsår

2015

Upphovspersoner

Klepper, Karina B; Miikkulainen, Kimmo Ville Antero; Nilsen, Ola; Fjellvåg, Helmer; Liu, Ming; Dutta, Dhanadeep; Gidley, David; Lanford, William; Ross, Liza; Li, Han; King, Sean W

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Miikkulainen Kimmo Ville Antero

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Volym

1791

Sidor

15-20

ISSN

0272-9172

Publikationsforum

62987

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Nanoteknologi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object]

Publiceringsland

Förenta staterna (USA)

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1557/opl.2015.519