Cycloheptatrienyl-Cyclopentadienyl Heteroleptic Precursors for Atomic Layer Deposition of Group 4 Oxide Thin Films
Publiceringsår
2012
Upphovspersoner
Niinisto, Jaakko; Hatanpää, Timo Tapio; Kariniemi, Maarit; Mäntymäki, Miia; Costelle, Leila; Mizohata, Kenichiro; Kukli, Kaupo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisationer och upphovspersoner
Helsingfors universitet
Niinisto Jaakko
Kukli Kaupo
Mizohata Kenichiro
Costelle Leila
Kariniemi Maarit
Leskelä Markku
Mäntymäki Miia
Ritala Mikko
Hatanpää Timo Tapio
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal
Moderpublikationens namn
Volym
24
Nummer
11
Sidor
22-28
ISSN
Publikationsforum
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ingen information
Parallellsparad
Okänd
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi
Publiceringsland
Förenta staterna (USA)
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Okänd
DOI
10.1021/cm2030735
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja