Reducing stiction in microelectromechanical systems by rough nanometer-scale films grown by atomic layer deposition

Publiceringsår

2012

Upphovspersoner

Puurunen, R. L.; Häärä, A.; Saloniemi, H.; Dekker, J.; Kainlauri, M.; Pohjonen, H.; Suni, T.; Kiihamäki, J.; Santala, E.; Leskelä, M.; Kattelus, H.

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Santala E.

Leskelä M.

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Sensors and actuators A: Physical

Moderpublikationens namn

Sensors and Actuators A: Physical

Volym

188

Sidor

24-245

ISSN

0924-4247

Publikationsforum

67021

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ingen information

Parallellsparad

Okänd

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Kemi; Teknisk kemi, kemisk processteknik

Publiceringsland

Schweiz

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag