Evaluation of scatterometry for characterisation of hybrid optics

Publiceringsår

2012

Upphovspersoner

Lassila Antti, Bodermann Bernd, Turunen Jari, Hansen Poul-Erik, Wurm Matthias, Siitonen Samuli, Saastamoinen Toni, Husu Hannu, Korpelainen Virpi

Organisationer och upphovspersoner

Östra Finlands universitet

Turunen Jari

Saastamoinen Toni

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Inte kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ingen information

Parallellsparad

Okänd

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik

Publiceringsland

Förenade kungariket

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag