Joint Research on Scatterometry and AFM Wafer Metrology

Publiceringsår

2011

Upphovspersoner

Bodermann Bernd, Buhr Egbert, Danzebrink Hans-Ulrich, Bär Markus, Scholze Frank, Krumrey Michael, Wurm Matthias, Klapetek Petr, Hansen Poul-Erik, Korpelainen Virpi, Veghel Marijn van, Yacoot Andrew, Siitonen Samuli, Gawhary Omar el, Burger Sven, Saastamoinen Toni

Visa mer

Organisationer och upphovspersoner

Östra Finlands universitet

Saastamoinen Toni

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Inte kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

B3 Icke-referentgranskad artikel i konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

FRONTIERS OF CHARACTERIZATION AND METROLOGY FOR NANOELECTRONICS: 2011

Förläggare

American Institute of Physics

Volym

1395

Sidor

319-323

ISBN

978-0-7354-0965-1

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Öppen tillgång till publikationskanalen

Helt öppen publikationskanal

Parallellsparad

Okänd

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik

Publiceringsland

Frankrike

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Sampublikation med ett företag