Temperature Stability of Electrode/AlScN Multilayer Systems for pMUT Process Integration
Publiceringsår
2020
Upphovspersoner
Bespalova, Kristina; Ross, Glenn; Paulasto-Kröckel, Mervi; Thanniyil, Abhilash Sebastian; Karuthedath, Cyril; Mertin, Stefan; Pensala, Tuomas
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Karuthedath Cyril 
Mertin Stefan
Abhilash T.S.
Pensala Tuomas
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Moderpublikationens namn
Proceedings of the IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2020
Konferens
Förläggare
Artikelnummer
9251496
ISSN
ISBN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Maskin- och produktionsteknik
Identifierade tema
[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1109/IUS46767.2020.9251496
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja